摘要：利用多弧离子镀设备， 通过引入Cr 和C 元素对TiAlSiN 硬质涂层进行改性， 制备出CrTiAlSiN 和CrTiAlSiCN 改性涂层。利用划痕仪、显维硬度计和球盘摩擦磨损机对3 种涂层的结合强度和摩擦学性能进行对比研究。结果表明，改性后的CrTiAlSiN 和CrTiAlSiCN 涂层为CrN 和Ti(Al)N 的复合结构涂层，C 和Si 元素以非晶化学态的形式存在。相比较于TiAlSiN 涂层，CrTiAlSiN 和CrTiAlSiCN 涂层在保持较高结合强度的同时，硬度和摩擦系数均增加。

关键词：TiAlSiN；摩擦学性能；多弧离子镀

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