摘要:通过溶胶凝胶法在云母表面制备了TiO2中间层薄膜，再在中间层上制备了VO2薄膜。通过视频光学接触角测量仪检测TiO2薄膜的亲水性，利用XＲD、傅立叶红外光谱仪和紫外可见分光光度计对复合薄膜的结构及光学特性进行分析。试验表明，紫外光激发后的TiO2薄膜具有良好的亲水性，能够实现V溶胶的均匀涂覆。TiO2中间层经510～560℃退火后，复合薄膜沿(011)晶面择优取向生长，复合薄膜红外屏蔽效能高，相变温度及滞后温宽都较低。中间层经460℃退火后的复合薄膜沿(111)晶面取向生长，红外屏蔽效能达到92%以上。关键词:TiO2中间层;复合薄膜;热致相变性能下载全文——中间层热处理温度对VO_2_TiO_2复合薄膜热致相变性能的影响_.pdf