摘要：研究了Ge 衬底在清洗过程中使用的浓硫酸在衬底表面残留对MOVPE 过程的影响。实验表明，若在清洗Ge 衬底表面时使用了浓H2SO4 而没有使之彻底脱除将直接造成外延后太阳能电池表面大量的点颗粒，严重影响太阳能电池的性能。 关键词： Ge 衬底；MOVPE；太阳能电池；表面；颗粒
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