摘要：高速钢表面类金刚石（diamond-likecarbon,DLC）薄膜的沉积效率和膜-基结合力影响其在切削刀具领域的应用。基于空心阴极原理，利用等离子体增强化学气相沉积（plasma-enhancedchemicalvapordeposition,PECVD）的方法，在体积比为1∶3的CH4和C2H2的混合气体中加入N2在高速钢表面制备类金刚石薄膜，研究了N2体积分数对DLC薄膜结合力和耐磨性的影响。结果表明：掺氮可提高DLC薄膜的沉积效率，改善膜结构。随着N2体积分数的增加，DLC薄膜中sp3键含量和摩擦因数均先增大后减小。掺10%体积分数N2的DLC薄膜厚度达1543nm,膜-基结合力等级从HF4提高到HF2,摩擦因数降至0.139,耐磨性提高。关键词：高速钢;类金刚石薄膜;结合力;摩擦;掺氮;