点击下载——1J22合金材料应用于溅射垂直磁记录薄膜的尝试研究.doc1J22合金材料应用于溅射垂直磁记录薄膜的尝试研究陈远星，刘志坚，黄伟嘉(广东省钢铁研究所，广东广州510640)摘要：1J22合金带作为溅射靶材的一种尝试，充分利用1J22合金冷轧带材产品具有高饱和磁感应强度、高居里温度、成分均匀、纯度高的优点。避免粉末法制备FeCo产品所产生的纯度低、成分不均匀等缺陷。磁控溅射出成分均匀、磁性能较好，用于垂直磁记录的薄膜，可以替代其它FeCo和FeNi合金靶材，成为更加理想的垂直磁记录溅射靶材。关键词：1J22合金；溅射靶材；垂直磁记录薄膜；磁性能；居里温度0前言近年来随着磁记录密度的急剧增高和磁性薄膜感应器的日益小型化、高性能化的发展，硬盘记录头和薄膜感应器等磁性器件市场对于高饱和磁通密度薄膜的需求日益增长［1］。以Fe基、Co基和FeNi基的磁性纳米晶软磁合金膜，具备高电阻率、高饱和磁感应强度及宽频带范围的高磁导率特性，是较为理想的软磁薄膜材料［2］。但Fe基磁性合金的居里温度较低、FeNi基合金的饱和磁感应强度Bs和电阻率ρ较低，因此在高密度磁记录中，Fe基、FeNi合金的应用受到了限制。在已知的材料中，FeCo合金具有更高的居里温度和高饱和磁感..