摘要:用热化学气相沉积(CVD)技术，用乙炔为碳源，氮气为载气，氢气为还原气体，氨气为刻蚀气体，在单晶硅上制备出定向竹节型结构碳纳米管薄膜。用透射电镜(TEM)，扫描电镜(SEM)的X衍射能量色散能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XＲD)分析碳纳米管的精细结构，成分和晶型及结晶度，并对制备的碳纳米管的生长机制进行分析和推测。结果表明:在生长碳纳米管的过程中起催化作用的是金属镍颗粒而不是碳化镍，催化剂颗粒呈不同的形貌存在碳纳米管顶部，并遵循顶端生长方式。关键词:热化学气相沉积;碳纳米管;生长机制;竹节型下载全文——热CVD制备定向竹节型碳纳米管生长机制分析.pdf