一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法

【发明专利申请】【事务数据】

申请公布号	CN104119079A
申请公布日	2014.10.29
申请号	2014103796412
申请日	2014.08.04
申请人	上海泛联科技股份有限公司
地址	201805上海市嘉定区安亭镇于塘路885号1幢1层B区
发明人	赵振威
Int. Cl.	C04B35/584(2006.01)I; C04B35/64(2006.01)I
专利代理机构	上海科盛知识产权代理有限公司31225
代理人	叶敏华

摘要　本发明涉及一种提高氮化硅材料性能一致性的烧结方法，包括以下步骤：A、氮化硅原料中加入氧化镁与氧化镧，配成混合物料，混合物料经过湿法混合、细化处理后干燥；B、将步骤A处理好的原料装入金属模，采用先机械干压，然后再密封，进行冷等静压成型，制备所要求形状的素坯；C、将步骤B制备的素坯，装入气压烧结炉，进行气压烧结；D、对步骤C烧结后的毛坯外形粗加工，保障材料外形尺寸的一致性，然后包裹上石墨纸，装入预先设计好的和步骤C烧结后的毛坯外形尺寸一致的石墨模具内，再进行热压烧结，得到材料性能一致性高的氮化硅。与现有技术相比，本发明具有低成本、材料离散性小、操作简单、利于工业化生产等优点。