摘　要：采用213nm激光系统，详细考察了激光能量、剥蚀孔径、激光频率、离焦距离、剥蚀时间对电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定镍基高温合金中硼、镁、磷、铜、锌、镓、砷、银、铟、镉、锡、锑、铊、铅、铋等元素分馏效应的影响。试验表明，痕量元素的绝对分馏因子随上述参数的变化而变化，但主要影响因素是离焦距离和剥蚀孔径尺寸。当激光输出能量为70%、80%和90%时，大部分元素的绝对分馏因子在0.95～1.15之间；激光频率为10Hz和15Hz时多数元素的绝对分馏因子在1.0～1.1之间；激光剥蚀孔径为65、80和100μm时各元素绝对分馏因子在0.90～1.15之间；离焦距离在+100～-100μm之间变化时，各元素的绝对分馏因子在0.90～1.1之间；剥蚀时间在60～120s之间时大部分元素的分馏因子在0.90～1.1之间。在优化的条件下，选择60Ni或47Ti作内标可以有效地校正剥蚀过程中元素信号随时间的变化，校正后大部分元素的分馏因子在0.95～1.1之间，但随着剥蚀时间的延长内标的校正效果有所降低。　　关键词：激光剥蚀；电感耦合等离子体质谱法；分馏效应；高温合金；痕量元素下载全文——激光烧蚀－电感耦合等离子体质谱法测定高温合金中痕量元素的分馏效应及其校正.pdf