沉积结晶二氧化钛纳米颗粒和薄膜的方法

发表时间：[2013-11-11]　　作者：　　编辑录入：冶金之家　　点击数：939

申请号：	201310238285.8	申请日：	2008.01.31
名称：	沉积结晶二氧化钛纳米颗粒和薄膜的方法
公开 (公告) 号：	CN103382546A	公开(公告)日：	2013.11.06
主分类号：	C23C14/24(2006.01)I	分案原申请号：	200880001813.5 2008.01.31
分类号：	C23C14/24(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C30B23/04(2006.01)I;C30B29/16(2006.01)I;C03C17/245(2006.01)I
颁证日：		优先权：	2007.02.07 US 60/899,892;2007.05.10 US 11/798,114
申请(专利权)人：	IMRA美国公司
地址：	美国密歇根州
发明 (设计)人：	胡振东;车勇;刘冰	国际申请：
国际公布：		进入国家日期：
专利代理机构：	北京同恒源知识产权代理有限公司 11275	代理人：	王维绮

摘要　

一种一步式和室温处理工艺，利用超快脉冲激光烧蚀氧化钛或金属钛靶将金属氧化物，如结晶二氧化钛(TiO2)的纳米颗粒或纳米复合材料(纳米颗粒组合的)薄膜沉积在基片表面上。所述系统包括脉冲激光，它的脉冲持续时间范围从几飞秒至几十皮秒；光学设置，用于处理激光束，使得激光束以适当的平均能量密度和适当的能量密度分布聚焦在靶表面上；和真空腔，其中安装有靶和基片，并且在其中可适当调节背景气体和它们的压强。