<靶>高性能钽靶材的热轧工艺

发表时间：[2013-04-02]　　作者：　　编辑录入：冶金之家　　点击数：819

申请号：	201210291462.4	申请日：	2012.08.16
名称：	高性能钽靶材的热轧工艺
公开 (公告) 号：	CN102989767A	公开(公告)日：	2013.03.27
主分类号：	B21B1/26(2006.01)I	分案原申请号：
分类号：	B21B1/26(2006.01)I;B21B37/74(2006.01)I
颁证日：		优先权：
申请(专利权)人：	宁夏东方钽业股份有限公司
地址：	753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区冶金路
发明 (设计)人：	张春恒;李桂鹏;同磊;汪凯;李兆博	国际申请：
国际公布：		进入国家日期：
专利代理机构：	宁夏专利服务中心 64100	代理人：	徐淑芬

摘要　

本发明涉及一种高性能钽靶材的热轧工艺，该方法首先将锻造坯料预热至900－1200℃，然后轧制，酸洗至钽金属光泽无杂斑即可。本发明通过对加热轧制生产高性能钽靶材轧制坯料，利用该高性能轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构占优的织构组分（所占比例在50％以上），并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。