点击下载——氧化锆基ＮＯｘ传感器扩散障研究.doc 摘要：以Ａｌ２Ｏ３为主要原料，添加适量ＺｒＯ２和储氧剂，以超细炭粉作造孔剂，制备氧化锆基ＮＯｘ传感器的多孔扩散障，对其附着状态、孔隙率、形貌和测试信号等进行分析。结果表明，随着扩散障造孔剂含量的增加，扩散障与基体附着下降，孔隙率增加；造孔剂含量为１５％时，扩散障与基体附着良好，孔隙分布均匀，其传感器的测量泵对ＮＯ呈现出良好的极限电流趋势，测试灵敏度和精度高。 关键词：ＮＯｘ传感器；扩散障；造孔剂；信号检测 ＮＯｘ传感器由于其芯片的测量电极易受污染而存在使用寿命短、信号不灵等问题，解决该问题的简单方法是在测量电极上印刷一层扩散障，用来控制气体向传感器空腔内扩散的速率，从而获取稳定精确的测量信号［１］。本文以Ａｌ２Ｏ３为主要原料，添加适量ＺｒＯ２和储氧剂，以超细炭粉作造孔剂，制备氧化锆基ＮＯｘ传感器多孔扩散障，通过系列测试分析，对其附着状态、孔隙率、微观形貌、测试信号等进行研究。 １　ＮＯｘ传感器结构 氧化锆基ＮＯｘ传感器结构如图１所示。该传感器主要由５个工作电极和２个空腔构成［２－３］。 本试验所研究的扩散障为覆盖在测..