晶体行为对SUS304钢表面溅射蚀刻圆锥状碳化物生成的影响张清廉1,2，王荣光2，中佐啓治郎2，加藤昌彦2(1．宝山钢铁股份有限公司，中国上海201900；2．广岛大学，日本广岛739-8527)摘要：研究用射频磁控溅射设备对SUS304钢表面进行600W×14．4ks或600W×28．8ks的Ar+溅射蚀刻处理，并用SEM、SIM和EBSP对表面形貌进行微观表征。结果表明：600W溅射蚀刻功率下，圆锥状碳化物不仅沿晶界生成，而且在晶粒表面内大面积生成。其大小和分布密度在{111}面最大，依次按{110}面和{100}面的顺序递减，并于位错等晶体缺陷处优先成核生长。但是，随着时间的延长，晶体取向对碳化物的生长没有直接的影响，微细凸起物形成的碳化物层覆盖试验片，并在局部生成尖而细的凸起物。关键词：晶系；晶格缺陷；SUS304不锈钢；溅射蚀刻；圆锥状碳化物0前言文献表明，在离子注入和溅射蚀刻时，金属和合金在加速离子的轰击下，表面层中空隙增加的同时致使温度上升，注入原子和固溶原子向表面层中扩散而偏析[1]，如用1．0～1．5．MeV的高能量对工业纯钛注入氮离子时发现氮化物在表面析出[2]。另外，溅射蚀刻技术不仅广泛运用于高精度半导体薄膜的制备，如用光刻蚀来制造大规模集成电路，而且还应用于制备光滑..