镁铝尖晶石粉体的性能、制备与应用趋势大连交通大学王程民王修慧田丁摘要：近20年来，镁铝尖晶石制备技术及应用发生了根本性变化，过去用于耐火材料、耐磨材料、陶瓷工业的镁铝尖晶石粉体，逐渐应用于功能材料、激光晶体材料等高技术领域。综述了高性能镁铝尖晶石的性能，以及制备技术的发展状况和应用前景。特别指出粉体纯度是一个重要性能指标。关键词：尖晶石粉体；性能；制备技术；应用1MAS的性能我国人工晶体研究部门于1990年代开始研制MAS材料。MAS材料具有高熔点、突出的抗渣性、耐剥落性及较好的抗蠕变性能而成为重要的耐火材料。而其更多优良性能的不断被发现，其应用领域也已经超出耐火材料。如MAS具有优良的电绝缘性，且与Si的匹配性好，线膨胀系数与Si相近，因而外延法生长的Si膜形变小，是一种重要的集成电路衬底材料。以其作衬底的集成电路开关速度快、频率高、漏电小，易于制作场效应管和制作高速低功耗的互补电路。高纯超细MAS粉体纯度一般大于99．99％，粒度为亚微米级至纳米级。主要应用于人工晶体、透明陶瓷材料、精密电子元器件材料等。粉体中的杂质是影响产品质量的关键因素。现有的各种制备技术都存在局限性，制约着其产物的性能。湿化学法制备MAS粉体，..